В Китае началось производство отечественных иммерсионных DUV-установок, необходимых для изготовления более современных микросхем.
DUV-литография не заменяет самые передовые EUV-машины напрямую, однако с помощью многократного формирования рисунка позволяет выпускать достаточно сложные чипы. Собственное оборудование снижает зависимость производителей от импортных систем.
Главной проверкой станет не единичная демонстрация, а стабильность, производительность и процент годных кристаллов в серийном производстве.
Китай начал производство собственных иммерсионных DUV-систем для выпуска микросхем
Источник: Cybernews